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半導体材料ガス検知器
半導体材料ガス検知器
- 1位CO2環境モニターMJCO2
CO2環境モニター二酸化炭素測定器は、アラームつきでCO2濃度と温度を同時表示
半導体材料ガス検知器 XP-703D
半導体材料ガス(アルシン、ホスフィン、ジボラン、シラン、水素など)の超微量もれ検知に最適
| 検知対象ガス | 半導体材料ガス（アルシン、ホスフィン、ジボラン、シランなど） | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| ガス採気方式 | 自動吸引式 | ||||
| 検知原理 | 熱線型半導体式 | ||||
半導体材料ガス検知器XPS-7
半導体材料ガス検知器XPS-7は、センサユニットを交換するだけで、様々なガスの検知が可能
| 検知対象ガス | 半導体材料ガス |
|---|---|
| 分解能 | フルスケールの100分の1表示 |
| 指示精度 | FS±10％以内 |
